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一种硅单晶切割籽晶专用夹具制作方法
专利
专利摘要: 一种硅单晶切割籽晶专用夹具,用于解决籽晶切割方位问题。其技术方案是构成中包括基准弯板、基准板、调整板和石墨垫,基准弯板由相互垂直的立板和平板构成,基准板与平板平行且固定在平板上,调整板位于基准板上部,与基准板形成可调固定连接,石墨垫粘接在调整板上表面。本实用新型可在x射线定向仪测定硅单晶晶向的同时,根据晶向误差对硅单晶进行调整并确定其切割角度,从而保证切割籽晶的质量。采用该夹具切割籽晶不仅无需剔除晶向偏角较大的硅单晶原料,而且可将籽晶晶向误差严格控制在正负30秒以内。 -
一种用切片机切割铸锭高标准籽晶的方法
专利
胡娟
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